OLED显微镜

量测工具

点,线,圆,弧,椭圆,槽型,曲线等各项不规则外型取样

形位公差

真圆度,同心度,垂直度,倾斜度,位置度,等各项形位公差设置

UV功能验证

UV光源下图像清晰

断面测量

按照PO spec要求进行测试并保存结果

自动计算offset

根据蒸镀有机材料的位置与设定的蒸镀位置对比,计算offset;或者是将UV光图像位置和上光源下图片位置对比,计算offset

UV光和卤素光自动切换

在软件中点击切换按钮后,可以自动切换光源并呈现相应的图像

SPC

软件须附带SPC功能,量测之数据须能自动导出作分析

报表输出

软件可客制化输出客户所需之 EXCEL,TXT,WORD,JPG

7.3.2设备配置&特征

7.3.2System Configuration& Characteristic

外部尺寸：L*W*H≤2500*2500*2000mm
External Size: L*W*H≤2500*2500*2000mm

*测量行程：X*Y≥750*650mm

Z≤100mm

重量：≤5000kg

承重：≥10kg

Capacity:≥10kg

*高测量准确度：XYZ≤1μm

*Maximum Accuracy: XYZ≤1μm

*机台重复性：≤1μm

*Machine Repeatability:≤1μm

XYZ最小移动距离：XYZ≤1um

XYZ minimum move distance: XYZ≤1um

XYZ移动精度:XYZ≤1um

XYZ move precision:XYZ≤1um

*XYZ轴移动速度: XYZ≤200mm/s
*XYZ Speed: XY≤200mm/s

7.3.3机械本体

7.3.3 Mechanics

主机：影像测量系统，四轴CNC控制

Machine: 4-axis CNC video measuring machine

机械结构：花岗岩或相同性能材质

Structure: Granite or comparable material

平面度公差：≤7um

Platness Tolerance:≤7um

*光栅尺分辨率：XYZ≤0.5um
*Scale resolution: XYZ ≤0.5um

*摄像机：彩色相机，200万像素,WAN接口

*Camera:Color camera,2000000 pixels,the wan interface

*CCD芯片尺寸：≥2/3英寸

*CCD Size:≥2/3 inch

光学系统配置：检偏镜，起偏镜，红蓝绿滤光片，0.5X C接口，明暗场光学系统，五孔电动鼻轮

The opticalsystem configuration:a polarizer, redgreen and bluefilters,0.5XC-mount,bright and dark fieldopticalbody,fiveholeelectric nose-wheel

*光学放大倍率：5X/10X/20X/50X/100X

光源特征：光源可以采用卤素灯、汞灯，寿命满足SPEC要求

7.3.5电控系统、

7.3.5 Control System

电机：直流伺服电机

Dynamo:DC servo motor

操作类型：鼠标和操作手柄，按键

Control Type: Mouse and Joystick

7.3.6软件系统

7.3.6 Software System

功能:点，直线，圆，弧，椭圆，槽等测量功能，带有线追踪功能，粒子计数，软件定位系统，软件控制光源亮度，软件控制电动鼻轮，软件控制孔径光阑

图像：可复制，可进行大面积图形无缝拼接

Image: can copy

*数据格式：JPG/Excel

*Data format: JPG/Excel

7.3.7其它

7.3.7 Others

*防微振装置:达到VC-B级别的防震平台

*Anti-vibration device: Yes

*静电防护：离子风棒

*ESD: BUAS